5053:(2020) - ДК 021:2015 :50530000-9 - Послуги з ремонту і технічного обслуговування техніки (ремонт вакуумного робочого об'єму ВУПа; ремонт системи кріплення кварцового вимірювача товщини шару напилення матеріалів КИТ; ремонт утримувача об'єктів напилення; ремонт системи водяного охолодження кварцового вимірювача товщини шару напилення матеріалів КИТ)