Частини машин і апаратів, призначених для виробництва напівпровідникових зливків або пластин, напівпровідникових приладів, електронних інтегрованих схем і пласких дисплеїв; частини інших машин і устатковання спеціальної призначеності (Машини спеціального призначення різні (Машини спеціального призначення різні))