ДК 021:2015 - 31120000-3 «Генератори» (Радіочастотний генератор плазми типу Cesar 13.56 МГц з узгоджувальною схемою (matching network) або еквівалент; Генератор плазми ADTEC Plasma Technology АХ-4000 III 40 МГц або еквівалент)